MEMS 기술

MEMS(Microelectromechanical Systems)는 마이크로 미터 단위의 움직이는 기계 요소가 있는 장치를 의미한다. 쉽게 이야기하면 마이크로 머신이라고 볼 수 있다.

 

나노 미터 단위의 장치는 NEMS (Nanoelectromechanical Systems)라고 한다. 나노 테크놀로지라고도 한다.

 

MEMS가 사용되는 장치는 다음과 같다.

- 가속도 센서

- 관성 유도 장치

- 압력 센서

- 광학 스위치

- MEMS 마이크