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피에조 모터는 압전 효과(Piezoelectric Effect)를 이용한 모터이다. 피에조 모터 (Piezoelectric Motor) 중에서 리니어 모터의 구조는 다음 그림과 같다. 압전 소자에 펄스 전압을 인가하면 압전 소자의 크기가 작아졌다 커졌다 하면 물체를 이동 시킨다.
피에조 모터는 리니어 모터 이외에도 회전 운동을 하는 피에조 모터도 있다. 피에조 모터는 나모 미터 단위의 정밀도로 움직일 수 있다.
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