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5나노 공정의 반도체는 2000년대 초부터 연구소 레벨에서는 만들어 졌지만 현재까지 상용화된 제품은 없다. 대만의 TSMC에서는 2019년말이나 2020년초에 5나노 반도체 양산 계획을 가지고 있다.
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