간섭계를 이용한 레이저 거리 측정 원리

간섭계(Interferometer)를 이용한 레이저 거리 측정기는 수 나노 미터의 정밀도로 측정할 수 있다.

 

간섭계를 이용한 레이저 거리 측정기의 구조는 다음 그림과 같다. 아래 그림에서 A와 반사되어 돌아오는 B는 간섭된 C가 검출된다. 아래 그림과 같이 간섭되어 진폭이 커질 수 있다.

 

 

다음 그림과 같이 물체를 이동시키면 A와 B가 간섭되어 진폭이 줄어들 수 있다.

 

 

이와 같이 간섭되어 검출되는 레이저의 크기로 정밀한 거리를 측정할 수 있다.